Sistema CVD de laboratório com forno tubular rotativo de zona dupla 1500-1500C

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TMAX-1500-1500CVD
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Detalhes do produto

Sistema CVD de laboratório com forno tubular rotativo de zona dupla 1500-1500C

O sistema CVD consiste em sistema de fornecimento de gás + forno tubular + sistema de vácuo, e a temperatura máxima pode atingir 1200 graus, 1400 graus, 1600 graus e 1700 graus. A zona de aquecimento pode ser uma zona de temperatura única, uma zona de temperatura dupla, uma zona de três temperaturas, etc. O vácuo final pode atingir 10-3Pa. O sistema de fornecimento de gás pode ser um medidor de vazão mássica ou um medidor de vazão flutuante para regulação de vazão. O número de canais de mixagem pode ser de 2 canais, 3 canais, 4 canais e 5 canais.

Parâmetros técnicos detalhados

Modelo	1500-1500-I 1500-1500-II
Poder	9KW 9KW
Tubo tamanho	Dia 60 (OD) X1400 mm Diâmetro 80 (OD) X1400 mm
Fornecimento tensão	380 V 380 V
Fase	fase dupla fase dupla
Tubo	Tubo de corindo: AIO de alta pureza cerâmica (incluindo) 99,5%
Aquecimento elemento	Primeiro zona de temperatura: haste de silício-carbono Segunda zona de temperatura: haste de silício-carbono
Velocidade de rotação do tubo do forno	Com motor de velocidade variável contínua, a velocidade pode ser ajustada entre (1-25 RPM)
Potência do motor	40W
O forno pode ser inclinado em um ângulo	0-30 graus
Tipo de direção	Correia dentada e engrenagem
Controle modo	Instrumento de controle de temperatura do programa UAV (padrão) 1, controle de temperatura do programa de 30 estágios ajuste inteligente do PID. 2. Com proteção contra superaquecimento, o elétrico o circuito de aquecimento do forno é automaticamente desligado quando a temperatura é Superaquecimento ou quebrado, (quando a temperatura do forno elétrico excede 1520 graus ou o termopar está queimado, o relé CA no circuito principal será desconectado automaticamente, o circuito principal está quebrado. Ligado, ligado a luz no painel está apagada, a luz OFF está acesa e a proteção limitada forno elétrico). 3, com interface de comunicação 485 (padrão ao comprar software) 4, com função de proteção de desligamento, que é, quando a energia é ligada após ser desligada, o programa não parte da temperatura inicial, mas da temperatura do forno aumenta a partir do momento da falha de energia. 5, o medidor tem a função de autoajuste de temperatura (você precisa pagar extra pela substituição de instrumentos importados, opcional) Instrumento FP93 Instrumento EUROTHERM Tela sensível ao toque instrumento (shimaden, Japão)
Material do forno	1. Alumina policristalina de alta pureza e alta qualidade forno de cura de fibra formado por filtração a vácuo. 2. Adote a tecnologia japonesa para moldagem.
Controle precisão	+/- 1â
Gatilho	Mudança de fase gatilho
Elétrico aparelho	Zhejiang queixo
Silício controlado	106/16ESEMIKRON
O temperatura mais alta na primeira e segunda zonas de temperatura	1500€
Classificado temperatura na primeira e segunda zonas de temperatura	1400€
Aquecimento taxa	â¤20â/ Min (pode ser modificado conforme necessário)
Recomendado taxa de aumento de temperatura	â¤10â/min
Termopar	S digite o primeiro zona de temperatura S digite a segunda região de temperatura
Comprimento da seção de aquecimento na primeira e segunda zonas de temperatura	300+300 mm 300+300 mm
Comprimento de temperatura constante	450 mm 450 mm

Fornecimento de ar de três canais Gx-3 (misto sistema de ar)

1.1. O gás sai do cilindro, é despressurizado através de uma válvula redutora de pressão, passa pelo tubo de PTFE para a entrada do sistema de abastecimento de gás e, em seguida, passa pelo fluxo de massa medidor para controlar o fluxo de gás e, em seguida, passa pelo tanque de mistura de gás e então entra na entrada do forno.

1.2. Um manômetro está conectado ao tanque de mistura de gás e o manômetro o disco de exibição e o controlador do medidor de vazão de prótons são instalados no mesmo painel.

1.3. Cada linha de gás possui uma válvula de corte de alta pressão para segurança.

1,4. O caminho do gás adota um medidor de fluxo de massa de gás de alta precisão e o interior do o caminho do gás é inteiramente feito de tubo de aço inoxidável, que apresenta boa corrosão resistência.

1,5. Todas as juntas da caixa são conectadas por ponteiras de aço inoxidável, que possuem boa estanqueidade ao ar e resistência a alta pressão.

2. Parâmetros técnicos:

Canal pneumático: 3

Controle de fluxo de gás: medidor de fluxo de massa.

Dimensões do gabinete: 600X600X600mm

Medidor de vazão mássica parâmetros técnicos:

Interface: Î¦6

Visor: LED

Temperatura do ambiente de trabalho: 5~45°C

Controlador de fluxo: Parâmetros do controlador de fluxo de prótons Verifique novamente

Tubo de aço inoxidável: Î¦6 fora de X Î¦4

Vácuo de pressão tabela: -0,1ï½0,15 MPa, 0,01 MPa/divisão

Válvula de parada: Î¦6

Controle de fluxo: PLC controle inteligente

3. Medidor de vazão mássica parâmetros técnicos:

Produto Nome: Controlador de Fluxo de Massa

Produto Descrição: Tipo normal, circuito analógico

Produto detalhes: circuito comum, analógico, vedação de borracha, derivação tubular, não é fácil de bloco.

Principal indicadores: Faixa: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (você pode escolher o intervalo arbitrariamente)

â¢ Precisão: ±1% FS

â¢ Linear: 0,5% FS

â¢ Repetibilidade: ±0,2% FS

â¢ Tempo de resposta: 1S

â¢ Queda de pressão do ar: <0,01MPa

â¢ Pressão máxima: 3MP

â¢ Temperatura do ambiente de trabalho: 5ï½45°C

â¢ Sinais de entrada e saída: 0 ~ + 5,00 V

â¢ Potência: +15V 50mA -15V 50mA

â¢ Dimensões: 158*30*110

â¢ Peso: 0,9 kg

4. Configuração do gás sistema de abastecimento:

1. Medidor de vazão de prótons: 3

2. Manômetro mecânico (faixa -0,1 ~ 0,15 MPa): 1

3. Válvula de corte de aço inoxidável: 4

4. Juntas de placa de aço inoxidável: 4

5. Conector da válvula de aço inoxidável: 2

6. Conector do cilindro de aço inoxidável: 3

7. Tubo PTFE: 15M

8. Tanque de mistura Dia80X140MM: 1

9. Rack de forno: 1 conjunto

Sistema de Alto Vácuo VS

Unidade de bomba molecular (Opção 1 ou opção 2)	Tensão de entrada da unidade	380V/220V
	Foles	KF40X1000
	Válvula defletora de vácuo	KF40
	Dimensões	600X600X600
	bomba molecular (Opção 1)	Modelo	FJ620
		tensão de entrada	380V
		Flange de entrada	DN160
		Taxa de bombeamento L/S (para ar)	600
		pressão finalï¼Pa)	6×10-7
		tipo de resfriamento	resfriamento a água
		pressão da água de resfriamentoï¼MPaï¼	0,1-0,2
		temperatura da água de resfriamento	<25â
		temperatura ambiente	0~40â
		Pressão inicial recomendada	<100pa
	Bomba de vácuo de estágio anterior TRP-24 da bomba molecular (a bomba molecular FJ620 deve ser equipado com bomba anterior) (Opção 2	åç	0,75KW
		çµå	380V
		è½¬é	1450 rpm
		Â· Diâmetro de entrada	KF25/KF40
		Taxa de bombeamento do motor dianteiroï¼L/Sï¼	6
		Pressão final	4X10 -2Pa
	Bomba de vácuo Pfeiffer da Alemanha (Opção 2)	tensão	220V
		poder	110W
		Interface de extração	KF40
		peso	150KG
		Velocidade de bombeamento do motor dianteiro	0,9m 3/h
		taxa de bombeamentoï¼N2ï¼	33L/S
	medidores de vácuo compostos	modelo	ZDF
		fonte de alimentação	220V 55W
		precisão de controle	± 1%
		Faixa de medição do medidor de vácuo	10-5 -10 5 Pa