Forno CVD 1600C com sistema de abastecimento de gás e sistema de vácuo

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TMAX-1600PECVD
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Detalhes do produto

Forno PECVD 1600C com sistema de abastecimento de gás e sistema de vácuo

O O sistema PECVD consiste em um forno tubular, uma câmara de vácuo de quartzo, um sistema, um sistema de fornecimento de gás e um sistema de fornecimento de energia de radiofrequência. Principalmente usado para: crescimento de filmes finos metálicos, filmes finos cerâmicos, filmes finos compostos, grafeno, etc. É fácil adicionar funções e pode expandir funções como limpeza e gravação de plasma. O sistema PECVD tem as vantagens de alta película taxa de deposição, boa uniformidade, alta consistência e estabilidade.

Técnico detalhado parâmetros

Modelo

TL1600-I

Poder

5KW

Tamanho do tuboï¼ODï¼(mm)

Tubo de corindo de alta pureza:60mm (diâmetro do tubo)

Dois plugues do forno são colocados em cada lado. O o plugue do forno pode bloquear a radiação de calor no centro do tubo do forno e deve ser colocado na posição correta no forno antes do aquecimento.

Dimensão

1120X490X855

tensão de alimentação

220V

fase

monofásico

elemento de aquecimento

Barra de molibdênio de silício modelo 1800

Tipo de controle de temperatura

Usar Instrumento de controle de temperatura do programa Yudian (padrão)

1. Ajuste PID inteligente de controle de temperatura do programa de 30 segmentos.

2. Com proteção contra superaquecimento, o circuito de aquecimento do forno elétrico Ser automaticamente cortado quando a temperatura estiver acima da temperatura ou quando o casal está quebrado. ON, a luz ON no painel está apagada, a luz OFF está acesa, e o forno elétrico é protegido de forma limitada).

3. Com interface de comunicação 485 (padrão com software opcional)

4. Possui função de proteção contra falha de energia, ou seja, quando o forno está ligado depois que a energia é desligada, o programa não inicia a partir do temperatura inicial, mas começa a partir da temperatura do forno quando a energia está desligado.

5.O medidor tem a função de autoajuste de temperatura

(você precisa pagar extra pela substituição de importados instrumentos, opcional)

Instrumento FP93 Instrumento EUROTHERM Tela sensível ao toque instrumento

(shimaden, Japão)

Material da câmara

1. O material da lareira é feito de alta qualidade fibra policristalina de alumina.

2. A superfície do forno interno é revestida com revestimento de alumina importado de alta temperatura de 1800 graus, que pode aumentar o emissividade e tornar o campo de temperatura mais equilibrado.

Válvulas e flanges

precisão de controle

+/- 1â

gatilho

Gatilho com mudança de fase

aparelho elétrico

Queixo de Zhejiang

controlado por silício

106/16E SEMIKRON

Máx. temperatura

1600€

Temperatura nominal

1550€

taxa de aquecimento

â¤20â/min(pode ser modificado conforme necessário)

Taxa de aquecimento recomendada

â¤10 â/Mín

Modelo termopar

Tipo B

Comprimento da seção de aquecimento

300mm

Temperatura ambiente da superfície

â¤45â

Sistema de vácuo

VS-0.1 sistema de vácuo

VS-0.1 O sistema de vácuo pode extrair o grau de vácuo no tubo do forno tubular para 0,1Pa (e equipado com medidor de vácuo de resistência exibição).

Com LED verde display digital de tela.

Adotar Bomba de vácuo VRD16

VRD16	Termo técnico		Especificação
VRD-16	Velocidade de bombeamentomÂ³/hï¼L/sï¼	50Hz	16 m³/h
			4,4 L/s
		60Hz	19,2 m³/h
			5,2 L/s
	Limite de pressão parcial - sem lastro de gásï¼Paï¼		4x10-2
	Limite de pressão total - sem lastro de gásï¼Paï¼		4x10-1
	Limitação da pressão total - lastro de gásï¼Paï¼		8x10-1
	fonte de alimentação		Monofásico/trifásico
	potência do motorï¼KWï¼		0,75 kW/0,55 kW
	Conexão de entrada/saídaDN		KF25
	capacidade de óleo		0,9-1,5 L
	velocidade do motorï¼rpmï¼	50Hz	1440rpm

Sistema de abastecimento de gás

Gás sistema de fornecimento de gás com medidor de vazão

Parâmetros técnicos:

l Canal pneumático: 6

l Controle de fluxo pneumático: use medidor de fluxo de massa.

l Tamanho do gabinete: 600X600X600mm

l Com display LED

l Parâmetros técnicos do medidor de vazão de massa:

Interface	Î¦6
Exibição	LED
Trabalhando temperatura ambiente	5~45â
Fluxo controlador	Próton controlador de fluxo é usado, consulte o verso
Inox tubo de aço	Î¦6 fora X Î¦4 dentro
Pressão mesa de vácuo	-0,1ï½0,15 MPa, 0,01 MPa/div
Parar válvula	Î¦6
Fluxo controle	CLP controle inteligente

Técnico Parâmetros do controlador de fluxo de massa:

Produto descrição: Tipo comum, circuito analógico

Produto descrição detalhada: Tipo comum, circuito analógico, vedação de borracha, tubular shunt, não é fácil de bloquear.

Principal indicadores:

Alcance	5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (você pode escolher qualquer intervalo) Confirme quando você faz o pedido
Precisão	±1% F.S
Linear	0,5% FS
Repetibilidade	±0,2% F.S
Resposta tempo	1S
Ar queda de pressão	<0,01MPa
Máximo pressão	3MP
Trabalhando temperatura ambiente	5ï½45â
Entrada e sinal de saída	0ï½+5,00V
Poder fornecimento	+15V 50mA -15V 50mA
Dimensões	15830110
Peso	0,9kg

Configuração do sistema de fornecimento de gás:

Próton medidor de vazão	6
Mecânico manômetro (faixa -0,1 ~ 0,15 MPa)	1
Inox válvulas globo de aço	6
Inox conectores de placa passante de aço	6
Inox juntas de válvula de aço	2
inox conector de cilindro de aço	6
PTFE tubo	30 milhões
Diâmetro80X140MM tanque de mistura de gás	1
Estrutura do Forno	1 conjunto

Geradores de RF / RF Fontes de alimentação

Principais parâmetros técnicos da fonte de alimentação de RF:

Faixa de saída de potência	0-500 W
Máximo refletido poder	200 W
frequência de trabalho	RF: 13,56MHZ±0,005%
Estabilidade de energia	+/-0,1%
Componente harmônico	â¤-50dbc
Largura da região Rf	0-600mm ajustável
Forma de correspondência	automático
Modo de resfriamento	Pontos de frio
Ruído	<50dB
Rádio interface de frequência	50Î© tipo N
Potência de entrada	208-240 V 50/60 Hz

Garantia

Um ano de garantia e vitalício suporte técnico

Nota especial:

1. Peças consumíveis como elementos de aquecimento, tubos de forno, cadinhos de amostra, etc. não estão dentro do período de garantia.

2. Danos causados pelo uso de gás corrosivo e gás ácido não são cobertos pela garantia.

Precauções

1. A pressão do ar no o tubo do forno não deve ser superior a 0,02 MPa

2. Devido ao alto ar pressão dentro do cilindro de gás, uma válvula de alívio de pressão deve ser instalada cilindro de gás quando o gás é introduzido no tubo do forno. Para garantir segurança, recomenda-se usar uma pressão abaixo de 0,02MPa

3. Quando o tubo do forno usado é tubo de corindo, quando a temperatura corporal do forno é superior a 1500 ℃, o tubo do forno não deve estar em estado de vácuo, e a pressão do ar no tubo do forno deve ser igual à atmosférica pressão.

4. O fluxo de gás para o o tubo do forno deve ser inferior a 200SCCM para evitar o impacto do frio fluxo de ar no tubo quente do forno

5. Para o aquecimento da amostra experimento, não é recomendado fechar a válvula de escape e a válvula de entrada de extremidade do flange do tubo do forno. Se precisar fechar a válvula de gás para aquecer o amostra, deve-se sempre prestar atenção à indicação do manômetro. Se a pressão for superior a 0,02 MPa, deve-se abrir imediatamente o escapamento válvula para evitar acidentes (como ruptura do tubo do forno, flange voando, etc.) .

6. Não use grafite cadinhos em tubos de alumina.

7. Elemento de aquecimento MoSi2 não deve ser usado em baixa temperatura (400°-700°) por muito tempo, caso contrário isso pode danificar o elemento de aquecimento.