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CE, IOS, ROHS, SGS, UL CertificateMáquina de limpeza de plasma a vácuo, equipamento de limpeza de plasma para PCB e microeletrônicos
Descrição do produto
(1.1)O papel da limpeza do plasma
O princípio da limpeza do plasma é principalmente:
(A)Gravação na superfície de materiais - efeitos físicos
Um grande número de partículas ativas no plasma, como um grande número de íons, moléculas excitadas e radicais livres, atuam na superfície da amostra sólida, o que não apenas remove os contaminantes e impurezas originais, mas também produz um efeito de ataque para tornar a superfície da amostra áspera. Muitos poços finos são formados, aumentando a proporção da superfície da amostra. Melhore as propriedades de umedecimento de superfícies sólidas.
(B)Energia de ligação de ativação, reticulação
A energia das partículas no plasma está entre 0-20 eV, e a maioria das ligações no polímero está entre 0-10 eV.
Quando uma superfície sólida é usada, a ligação química original na superfície sólida pode ser quebrada, e os radicais livres no plasma e essas ligações
A formação de uma rede de estruturas reticuladas ativa grandemente a atividade de superfície.
(C)Formando novos grupos funcionais - química
Se um gás reativo for introduzido no gás de descarga, uma reação química complicada ocorre na superfície do material ativado e novos grupos funcionais, como um grupo hidrocarboneto, um grupo amino, um grupo carboxila e semelhantes, são introduzidos , e esses grupos funcionais são todos grupos ativos, o que pode melhorar significativamente a atividade superficial do material.
(1,2)Vantagens da limpeza com plasma a vácuo
A limpeza por plasma é um importante método de modificação da superfície do material e tem sido amplamente utilizada em muitos campos.
E alguns métodos de limpeza tradicionais, como limpeza ultrassônica, limpeza UV, etc., têm as seguintes vantagens:
(A)Baixa temperatura de processamento
A temperatura de processamento pode ser tão baixa quanto 80 ° C - 50 ° C. As baixas temperaturas de processamento garantem que não haja efeitos térmicos na superfície da amostra.
(B)Sem poluição durante todo o processo
O próprio limpador de plasma é um dispositivo muito ecológico que não causa nenhuma poluição,e não causa nenhuma poluição durante o processo de tratamento.
(C)Efeito de processamento estável
O efeito do tratamento da limpeza do plasma é muito uniforme e estável, e o efeito de manter a amostra após um longo período de tempo é bom.
(D)Pode lidar com amostras de vários formatos
Para amostras de formatos complexos, a limpeza por plasma pode encontrar a solução certa.
A limpeza por plasma a vácuo permite a limpeza da posição interna da amostra sólida.
(1,2)Princípio do produto
A estrutura do limpador de plasma é dividida principalmente em cinco componentes principais: sistema de controle, sistema de energia de excitação, câmara de vácuo, sistema de gás de processo e sistema de bomba de vácuo.
(A)Sistema Cobtrol
A função do sistema de controle é controlar a operação de todo o dispositivo, incluindo interface homem-máquina (tela sensível ao toque), PLC, circuito elétrico. A limpeza a plasma a vácuo com sistema de controle totalmente automático permite vários modos e vários programas para controlar o equipamento de limpeza para atender às necessidades de diferentes clientes.
(B)Sistema de energia de excitação:
Existem três tipos principais de potência de excitação: fonte de alimentação de excitação de frequência intermediária de 40KHz, fonte de alimentação de excitação RF de 13,56 MHz e fonte de alimentação de excitação de microondas de 2,45 GHz. Atualmente, a indústria utiliza principalmente fonte de alimentação de excitação de RF e fonte de alimentação de excitação de frequência intermediária. Para diferentes aplicações.
(C)Câmara de vácuo:
A câmara de vácuo é dividida principalmente em três materiais: 1) cavidade de liga de alumínio, 2) câmara de vácuo de aço inoxidável, 3) cavidade de quartzo. Diferentes modos de descarga e diferentes tamanhos e capacidades de amostra podem ser alcançados dependendo das diferentes necessidades do usuário.
(D)Sistema de gás de processo:
Os gases de processo incluem medidores de vazão, válvulas pneumáticas, etc. Os usuários podem escolher com flexibilidade várias soluções de gás de processo, argônio, oxigênio, hidrogênio, nitrogênio, tetrafluoreto de carbono, etc., para atender a diferentes requisitos de processo. Limpe a superfície de vários produtos.
(E)Bomba de vácuo:
A bomba de vácuo é dividida em uma bomba de óleo, uma bomba seca e uma bomba Roots. A bomba de óleo adota principalmente uma bomba de palhetas rotativas de dois estágios, e a bomba de vácuo é formulada de acordo com o volume, eficiência de trabalho e requisitos ambientais do usuário.
(2)Especificações técnicas
Sistemas de energia |
Fonte de alimentação RF personalizada: 13,56 MHz 0-600W (ajustável) |
Combinador de capacitores a vácuo totalmente automático | |
Sistema de vácuo | Bomba de palhetas rotativa de dois estágios personalizada (bomba de óleo): 40m3/h |
Medidor de vácuo: Medidor de vácuo Japão Inficon Pirani | |
Linha de vácuo: toda linha de aço inoxidável fole de vácuo de alta resistência |
|
Sistema de cavidade (personalizável) |
Material de liga de alumínio; Soldagem de nível militar Espessura de 25 mm |
Dimensões internas da cavidade:375*375*425mm(L*A*P) | |
Layout da placa de eletrodo: Disposição horizontal, extraível | |
Bandeja de trabalho | |
Número da camada espacial: 6 camadas | |
Sistema de gás | Válvula pneumática: Japão SMC |
Medidor de vazão: China SevenStar: 0-300SCCM | |
Dois gases de processo: argônio, oxigênio (Argônio, oxigênio, nitrogênio, hidrogênio, quatro fluoreto de nitrogênio são opcionais.) |
|
Sistema de controle | PLC: Série alemã SIEMENS S |
Tela sensível ao toque de sete polegadas: WEINVIEW | |
Peças elétricas: Schneider | |
Outros parâmetros | Dimensões: 885*900*1576 mm (L*A*P) |
Peso: 350kg | |
Cor:Prata |
(2,2)Dimensão
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