Revestimento por pulverização catódica de íon de magnetron de alto vácuo DC ou RF usado para fazer células solares de perovskita

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TMAX-650MH
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Detalhes do produto

Revestimento de revestimento por pulverização catódica de íon magnetron de alto vácuo DC ou RF usado para fazer células solares de perovskita

Introdução

Alto Vácuo Magnetron Ion Sputtering Coater é ideal e projetado para ciência de materiais e preparação de amostras. É amplamente utilizado pela maioria das universidades e institutos de pesquisa científica de ciência e engenharia de materiais para revestir metais, cerâmicas, semicondutores, isoladores ou outros tipos de preparação de materiais de membrana.

O revestidor de pulverização catódica de íons magnetron de alto vácuo fornece o ambiente de pulverização catódica mais estável e atinge as condições experimentais básicas de pulverização catódica de magnetron em um período muito curto de tempo. Ele fornece DC / RF dois tipos de opções de energia de pulverização catódica que permitem a pulverização catódica de substâncias condutoras ou não condutoras na amostra e melhoram o desempenho da deposição física de vapor (PVD). Também é excelente para tratamento e revestimento de superfície. É fácil de operar e fácil de usar.

Bomba de vácuo e resfriador estão incluídos.

Parâmetro

Aspirador pbomba configuração	(Oil necessário) rrotatório vacuum pump+(oil free) turbo moleculano pconjunto de bomba
Rotativo paceleração velocidade	50 Hz: 16 mÂ³/h (4,4 L/s)/ 60 Hz: 19,2mÂ³/h (5,2 L/s)
Velocidade molecularde bombeamento velocidade	300 L/s
Vácuo limitar	5x10-5Pa
Trabalhar psegurança	0,5-5Pa
Aspirando time	10 minutos(10-3Pa)
Vácuo mmedida	Faixa de medição da atmosfera até 1*10Pa
Controle de gás	Gás fbaixo ccontrolador
Tamanho datamanho da câmara	Ï260*200mm (altura) metal
Magnetron talvo fonte	Tamanho do alvo Ï 50*3mm(Cu)/tfonte do alvo: weak magnético ssubstância /mmateriais
Operação mmétodo	Manual de instruçõesl
Peso/tamanhotamanho	100kg/610mm de comprimento x 420mm de largura x 490mm de altura
Fonte deenergia	CA 110V 60Hz ou CA 220V 50Hz
Energia cconsumo	<3000W
Resfriamento mmétodo	Ar ararrefecimento(pump)+ águaágua carrefecer(sputtering talvo)
Garantia	Garantia limitada de um ano com suporte vitalício ao produtot