Magnetron Ion DC de alto vácuo ou revestidor de revestimento por pulverização catódica RF para preparação de amostras SEM

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Detalhes do produto

Magnetron Ion DC de alto vácuo ou revestidor de revestimento por pulverização catódica RF para preparação de amostras SEM

Introdução

Alto Vacuum Magnetron Ion Sputtering Coater é ideal e projetado para ciência de materiais e preparação de amostras. É amplamente utilizado pela maioria das universidades e institutos de pesquisa científica de ciência e engenharia de materiais para revestir metais, cerâmicas, semicondutores, isoladores ou outros tipos de preparação de materiais de membrana.

O revestidor de pulverização catódica de íons magnetron de alto vácuo fornece o ambiente de pulverização catódica mais estável e atinge as condições experimentais básicas de pulverização catódica de magnetron em um período muito curto de tempo. Ele fornece DC / RF dois tipos de opções de energia de pulverização catódica que permitem a pulverização catódica de substâncias condutoras ou não condutoras na amostra e melhoram o desempenho da deposição física de vapor (PVD). Também é excelente para tratamento e revestimento de superfície. É fácil de operar e fácil de usar.

Bomba de vácuo e resfriador estão incluídos.

Parâmetro

Aspirador pbomba set	(Oil necessário) rrotatório vacuum pump+(oil free) turbo moleculano pconjunto de bomba
Rotativo pumping velocidade	50 Hz : 16 mÂ³/h (4,4 L/s)/ 60 Hz : 19,2mÂ³/h (5,2 L/s)
Molecular ppump velocidade	300 L/s
Vácuo limitar	5x10^-5Pa
Trabalhando psegurança	0,5-5Pa
Aspirando time	10 minutos(10^-3Pa)
Vácuo mmedida	Faixa de medição da atmosfera até 1*10^-6Pa
Controle de gás	Gás fbaixo ccontrolador
Tamanhodatamanho da câmara	Ï260*200mm (altura) metal
Magnetron talvo sfonte	Tamanho do alvo Ï 50*3mm(Cu)/tfonte do alvo: weak magnético ssubstância /mmateriais
Operação mmétodo	Manual de instruçõesl
Peso/tamanhotamanho	100kg/610mm de comprimento x 420mm de largura x 490mm de altura
Fonte deenergia	CA 110V 60Hz ou CA 220V 50Hz
Potência cconsumo	<3000W
Resfriamento mmétodo	Ar resfriamentoarrefecimento(pump)+ águaater carrefecimento(sputtering talvo)
Garantia	Garantia limitada de um ano com suporte vitalício ao produtot