Nome e modelo do equipamento

Instrumento de revestimento de plasma magnetron VTC-2RF

Arâmetros pbásicos

· Fonte de alimentação: AC 220V 50HZ

· Potência: <1800W

RF energia fornecimento

· Potência de entrada: 220V 3A

· Potência de saída: 0-300W

· Frequência de saída: 13,56 MHZ

· Modo de resfriamento: O modo de resfriamento dentro do equipamento é resfriamento a ar

· Tamanho: 444 (L) *410 (L) *128 (A)

Cabeças de pulverização magnética

· Cabeça de pulverização catódica magnetron de 2 polegadas (com camada intermediária resfriada a água), conectada à câmara de vácuo com emenda rápida

· Requisitos de tamanho do alvo: Ï50* (0,1-5) mm de espessura

· A cabeça de pulverização catódica magnetron de 2 polegadas pode suportar a potência máxima de RF: 300W

· A cabeça de pulverização catódica magnetron de 2 polegadas pode suportar a potência máxima DC: 500W

Sputter chamber

· Tamanho da câmara: Diâmetro externo Ï166* Diâmetro interno Ï150* altura 250mm, feito de quartzo de alta pureza

· Flange de vedação: diâmetro de 174mmï¼feito de metal alumínio, selado por anel de vedação de borracha de flúor

· Um defletor operado manualmente é instalado na tampa do flange para pré-pulverização do alvo, e uma junta de manga Ï6,35 está incluída no e tampa do flange para conectar o tubo de admissão.

Uma malha de aço inoxidável cobre toda a câmara de quartzo para proteger o plasma

· Vácuo da câmara: ï¼1,0Ã10-2 Torr (com bomba de vácuo de palheta rotativa bipolar), ï¼5×10-5 Torr (vórtex molecular pump)

· Se for necessário um vácuo mais alto, a câmara de vácuo de aço inoxidável pode ser personalizada (o grau de vácuo pode chegar a 5*10-6 torr ou menos)

· A entrada de ar da cavidade é uma junta de manga dupla de aço inoxidável de Φ6,35 mm, que pode ser conectada ao cilindro de gás através do tubo de PTFE, e o tamanho da entrada de ar é controlado por uma válvula micro-reguladora de precisão.

Amostra ssuportes

· A mesa de amostra pode ser girada (para uma produção de filme mais uniforme) e aquecida

· Tamanho da amostra: 50 mm de diâmetro (podem ser colocados até 2 polegadas de substrato)

· Velocidade de rotação: 1-10rpm (ajustável)

· A temperatura máxima de aquecimento da tabela de amostra é 700°C (uso de curto prazo, temperatura constante não excede 1 hora) e a temperatura de uso a longo prazo é 500°C

· Precisão do controle de temperatura: ±10â

Unidade de exibição de vácuo

· Modelo de medidor de vácuo: ZDZ-52T

· Faixa de medição: 1,0Ã105Pa~1,0Ã10-1Pa

· Faixa efetiva: 3,0Ã103Pa~1,0Ã100Pa

· Tubo de silicone: ZJ-52T/KF16

· Tamanho do painel: 96*96 mm

· A regulação do medidor de vácuo só pode medir ar e nitrogênio, e outras ocasiões com uma grande proporção de componentes de gás precisam ser corrigidas.

Sistema de vácuo (opcional)

· Interface de vácuo é interface KF25

· Modelo de bomba de vácuo: VRD-16

· Taxa de bombeamento: 4,4L /S

· Potência do motor: 750 W

· Pressão limite: 5Ã10-1Pa (sem carga)

Equipamento de resfriamento de água (opcional)

· Modelo: KJ-5000

· Corrente de trabalho: 1,4-2,1A

· Capacidade de resfriamento: 2361Btu/h

· Tamanho: 55×28×43cm (comprimento à largura à altura)

· Capacidade do tanque de água: 6L

· Taxa de fluxo de água: 16L/min

Filme tespessura gaumento (opcional)

· Um medidor de espessura de filme vibratório de quartzo de precisão é instalado no instrumento para monitorar a espessura do filme em tempo real com uma resolução de 0,10A

· Display LED, mas também insira os dados relacionados ao filme

Dimensão Geral

Tamanho do equipamento: C 550mm à L 550m à A 1100mm

Tamanho da lareira: L 600 mm L 600 m L 600 mm

Peso

Cerca de 55KG

Prazo de validade

1 ano (excluindo peças de desgaste, como anéis de vedação)

Precauções

· A pressão do ar na câmara não deve ser superior a 0,02MPa (pressão relativa do ar);

· Devido à alta pressão dentro do cilindro, uma válvula redutora de pressão deve ser instalada no cilindro quando o gás é injetado no tubo de quartzo. Para garantir a segurança, recomenda-se utilizar uma pressão inferior a 0,02MPa. Recomenda-se adquirir uma válvula redutora de pressão de nossa empresa, cuja faixa de medição é 0,01MPa-0,1MPa, que será mais precisa e segura no uso.

· Para experimentos de aquecimento de amostras, não é recomendado fechar a válvula de exaustão e a válvula de admissão na extremidade do flange do tubo do forno. Caso seja necessário fechar a válvula de ar para aquecer a amostra, é necessário estar sempre atento ao indicador do manômetro. Se o indicador de pressão for superior a 0,02 MPa, a válvula de alívio de ar deve ser aberta imediatamente para evitar acidentes (como ruptura do tubo do forno, flanges saindo, etc.).

· Não recomendamos aos clientes o uso de gases inflamáveis, explosivos e tóxicos. Se os clientes realmente precisarem usar gases inflamáveis, explosivos e tóxicos por razões tecnológicas, tomem eles próprios as medidas relevantes de proteção e à prova de explosão. A empresa não se responsabiliza por quaisquer problemas causados ​​pelo uso de gases inflamáveis, explosivos e tóxicos.